特許

J-GLOBAL ID：200903019870947761

ワイヤソーおよびそのインゴット切断方法

発明者： 又川 敏
出願人/特許権者： 三菱マテリアルシリコン株式会社
代理人 (1件)： 安倍 逸郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-123087
公開番号（公開出願番号）：特開平10-296719
出願日： 1997年04月25日
公開日（公表日）： 1998年11月10日
要約：

【要約】【課題】 後工程でのウェーハ洗浄を容易にし、かつ比較的洗浄コストを安価とする。また、インゴット洗浄時のウェーハの損傷を防ぐ。【解決手段】 切断手段13により、走行中のワイヤ列11にインゴット16を相対的に押し付けてウェーハ16Aに切断する。インゴット切断直後、低粘度油bを圧縮空気供給手段19からの圧縮空気cの圧力によりインゴット16の切断溝16aへ噴出する。この結果、スラリー状の砥液aを接着剤としてウェーハ16A間に付着した砥粒や切り粉が吹き飛ばされる。これにより、切断直後のインゴット16に付着する砥粒量が減少し、後工程でのウェーハ16A洗浄が容易になる。また、洗浄後の低粘度油bは砥液a用の油として再利用できるので、このように洗浄力の大きな洗浄が、比較的低コストで実用化できる。

請求項（抜粋）：

走行するワイヤ列によりインゴットを切断する切断手段と、砥液を貯留する砥液タンクと、この貯留された砥液をワイヤ列またはインゴット付近に供給する砥液供給手段とを備えたワイヤソーであって、上記砥液用の低粘度油を貯留する低粘度油タンクと、この貯留された低粘度油を、切断直後の上記インゴットの切断溝へ向かって所定速度で噴出する噴出手段と、上記砥液タンクに接続され、使用後の砥液および低粘度油を回収する回収手段とを有するワイヤソー。

IPC (3件)：

B28D 7/02 ,  B24B 27/06 ,  B28D 5/04

FI (3件)：

B28D 7/02 ,  B24B 27/06 D ,  B28D 5/04 C

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭59-232762
  
• ワイヤソー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-145887   出願人：株式会社東京精密
• 特開平1-316164