特許
J-GLOBAL ID：200903019871925605

露光装置及びデバイス製造方法

発明者：
原 英明

原 英明 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-431950
公開番号（公開出願番号）：特開2005-191344
出願日： 2003年12月26日
公開日（公表日）： 2005年07月14日
要約：
【課題】 液浸領域の大きさを維持して高い露光精度を得ることができる露光装置を提供する。【解決手段】 露光装置は、投影光学系PLと液体LQとを介して基板P上に露光光を照射して基板Pを露光するものであって、液体LQを供給する供給口13、14と、投影光学系PLの投影領域に対して供給口13、14より外側に設けられた内側吸引口25と、内側吸引口25より外側に設けられた外側吸引口26と、内側吸引口25に設けられ、第1の流れの抵抗を有する第1部材27と、外側吸引口26に設けられ、第1の流れの抵抗とは異なる第2の流れの抵抗を有する第2部材28とを備え、外側吸引口26に、液体LQによって投影光学系PLの像面側に形成される液浸領域の端部EGが配置されている。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
投影光学系と液体とを介して基板上に露光光を照射して前記基板を露光する露光装置において、 前記液体を供給する供給口と、 前記投影光学系の投影領域に対して前記供給口より外側に設けられた第1吸引口と、 前記第1吸引口より外側に設けられた第2吸引口と、 前記第1吸引口に設けられ、第1の流れの抵抗を有する第1部材と、 前記第2吸引口に設けられ、前記第1の流れの抵抗とは異なる第2の流れの抵抗を有する第2部材とを備え、 前記第2吸引口に、前記液体によって前記投影光学系の像面側に形成される液浸領域の端部が配置されることを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
H01L21/027 ,  G03F7/20
FI (2件)：
H01L21/30 515D ,  G03F7/20 521
Fターム (5件)：
5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CB01 ,  5F046CB26 ,  5F046CB27
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 国際公開第99/49504号パンフレット
審査官引用 (2件)

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