特許

J-GLOBAL ID：200903019933504890

光学的検査方法および光学的検査装置

発明者： 高本 健治 ,  西井 完治 ,  伊藤 正弥 ,  福井 厚司
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-267168
公開番号（公開出願番号）：特開平8-128959
出願日： 1994年10月31日
公開日（公表日）： 1996年05月21日
要約：

【要約】【目的】 セラミック基板等の光拡散性のある被検査物のクラック欠陥等を高精度、高速、低コストで検査可能とする検査方法及び装置を提供する。【構成】 波長帯a、bの照明領域28、30から被検査物の内部に拡散する光の一部はクラックによって反射、透過されて撮像領域13に到達する。波長帯aと波長帯bの照明光は撮像領域13に達する光拡散経路が異なるため、各拡散光はクラック欠陥24の形状によって反射、透過の影響が違う。波長帯a及び波長帯bの拡散放射光34、35を分光検出して、信号変化の大きい方を信号処理して欠陥検査する。

請求項（抜粋）：

被検査物表面に光を照射し、前記被検査物の表面から内部に浸透したのち前記被検査物表面から放射される光を検出し、前記検出された光の強度変化を検出することにより被検査物の光学的不均質を検出する光学的検査方法。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭64-061653
  
• 特公昭59-025972
  
• 透明体欠陥検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-250015   出願人：興和株式会社