特許
J-GLOBAL ID：200903019944693198
アクチュエータユニット及びインクジェット式記録ヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-167587
公開番号（公開出願番号）：特開2001-341299
出願日： 2000年06月05日
公開日（公表日）： 2001年12月11日
要約：
【要約】【課題】 端子列の数の増加を極力抑えながらノズル開口列の数を増加させることができるインクジェット式記録ヘッドを提供する。【解決手段】 複数のノズル開口に連通する複数の圧力室6が少なくとも3列に形成された圧力室形成基板7と、複数の圧力室6の上面開口を封止するように圧力室形成基板7上に形成された弾性膜と、複数の圧力室6に対応して弾性膜上に形成された複数のアクチュエータ60と、複数のアクチュエータ60に接続される複数の端子20、21から成る複数の端子列22と、を備える。複数のアクチュエータ60は、弾性膜上に形成された下部電極膜と、下部電極膜上に形成された複数の圧電体膜と、複数の圧電体膜上に形成された複数の上部電極膜と、を有する。複数の端子列22のうちの少なくとも1列には、複数列のアクチュエータ60のうちの少なくとも2列が接続されている。
請求項（抜粋）：
複数のノズル開口に連通する複数の圧力室が少なくとも3列に形成された圧力室形成基板と、前記複数の圧力室の上面開口を封止するようにして前記圧力室形成基板上に形成された弾性膜と、前記複数の圧力室に対応して前記弾性膜上に形成された複数のアクチュエータと、前記複数のアクチュエータに接続される複数の端子から成る複数の端子列と、を備え、前記複数のアクチュエータは、前記複数の圧力室の上方を通るようにして前記弾性膜上に形成された下部電極膜と、前記複数の圧力室に対応して前記下部電極膜上に形成された複数の圧電体膜と、前記複数の圧電体膜上に形成された複数の上部電極膜と、を有し、前記複数の端子列のうちの少なくとも1列には、複数列の前記アクチュエータのうちの少なくとも2列が接続されていることを特徴とするアクチュエータユニット。
IPC (2件)：
Fターム (9件)：
2C057AF35
, 2C057AF36
, 2C057AF37
, 2C057AG15
, 2C057AG40
, 2C057AG44
, 2C057AG91
, 2C057BA04
, 2C057BA14
