特許

J-GLOBAL ID：200903019988904935

温度補正機構を備えた走査型顕微鏡

発明者： 鈴木克之
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 蛭川 昌信 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-077366
公開番号（公開出願番号）：特開2000-275261
出願日： 1999年03月23日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】 スキャナの印加電圧に対する走査幅を毎回測定する必要がなく、スキャナの温度が変化しても正確な測定を行えるようにする。【解決手段】 コントローラ(4)によって制御された電源(5)よりスキャナ(1)に電圧を印加し、試料(3)または探針を走査して試料表面の形状や物理的特性を測定する走査型顕微鏡において、予め印加電圧に対するスキャナの走査幅を温度の関数として求めてコントローラ(4)に入力しておき、スキャナの温度を測定してコントローラに取り込み、前記関数に基づいて適正な印加電圧を求め、求めた印加電圧によりスキャナ(1)を駆動するようにしたものである。

請求項（抜粋）：

コントローラによって制御された電源よりスキャナに電圧を印加し、試料または探針を走査して試料表面の形状や物理的特性を測定する走査型顕微鏡において、予め印加電圧に対するスキャナの走査幅を温度の関数として求めてコントローラに入力しておき、スキャナの温度を測定して前記コントローラに取り込み、前記関数に基づいて適正な印加電圧を求め、求めた印加電圧によりスキャナを駆動するようにしたことを特徴とする温度補正機構を備えた走査型顕微鏡。

IPC (2件)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30

FI (2件)：

G01N 37/00 U ,  G01B 21/30 Z

Fターム (5件)：

2F069AA60 ,  2F069EE02 ,  2F069JJ01 ,  2F069JJ11 ,  2F069LL03

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-152845
  
• 積層型圧電アクチュエータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-138431   出願人：京セラ株式会社
• 特開平3-152845