窒化アルミニウム基複合体、電子機能材料、静電チャックおよび窒化アルミニウム基複合体の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村暁秀 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-163511
公開番号（公開出願番号）：特開平10-338574
出願日： 1997年06月06日
公開日（公表日）： 1998年12月22日
要約：

【要約】【課題】窒化アルミニウム質の材料において、従来よりも広い温度範囲で体積抵抗率の変化が少ない新規な材料を提供する。【解決手段】窒化アルミニウム結晶粒子とγ-アルミナ型結晶とを含有する窒化アルミニウム基複合体を提供する。窒化アルミニウム結晶粒子中の酸素濃度がX線マイクロアナライザーによって測定したときに0.40重量%以上、0.60重量%以下であり、電子スピン共鳴法によるスペクトルから得られたアルミニウムの単位mg当たりのスピン数が1×101 2 spin/mg以上、1×1013 spin/mg以下である。カソードルミネッセンスによる主要ピークが350nm〜370nmにあることが好ましく、X線回折測定によるγ-アルミナ型結晶の回折ピーク(2θ=44°〜45°)の強度の窒化アルミニウム結晶の回折ピークの強度に対する比率が0.025以上であることが好ましい。

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウム結晶粒子とγ-アルミナ型結晶とを含有する窒化アルミニウム基複合体であって、前記窒化アルミニウム結晶粒子中の酸素濃度がX線マイクロアナライザーによって測定したときに0.40重量%以上、0.60重量%以下であり、電子スピン共鳴法によるスペクトルから得られたアルミニウムの単位mg当たりのスピン数が1×101 2 spin/mg以上、1×101 3 spin/mg以下であることを特徴とする、窒化アルミニウム基複合体。

IPC (3件)：

C04B 35/581 , B23Q 3/15 , H01L 21/68

FI (3件)：

C04B 35/58 104 A , B23Q 3/15 D , H01L 21/68 R

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭63-017262
特開昭62-270467
静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-237115 出願人：京セラ株式会社

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