特許
J-GLOBAL ID：200903020025761568
照明光学装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-226395
公開番号（公開出願番号）：特開平8-031736
出願日： 1994年09月21日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：
【要約】【目的】長方形状の照明領域、或いは円弧状の照明領域を極めて高い照明効率のもとで形成できる照明光学装置の提供にある。【構成】光束を供給する光源系と、その光源系からの光束に基づいて複数の光源像を形成するオプティカルインテグレータと、とのオプティカルインテグレータからの複数の光束をそれぞれ集光して被照明面を長方形状または円弧状に重畳的に照明するコンデンサー光学系において、そのオプティカルインテグレータを入射側の第1レンズ群と射出側の第2のレンズ群とに2分割し、入射側の第1レンズ群中の各レンズ素子の断面形状を形成すべき長方形状の照明領域と相似な形状とすると共に、射出側の第2レンズ群中の各レンズ素子の断面形状をある大きさを持つ円形状の光束又はある大きさを持つ円形状の光源像を通過させる形状とし、各レンズ群中の各レンズ素子の配置構成を最適化したものである。
請求項（抜粋）：
光束を供給する光源系と、該光源系からの光束に基づいて複数の光源像を形成するオプティカルインテグレータと、該オプティカルインテグレータからの複数の光束をそれぞれ集光して被照明面を長方形状または円弧状に重畳的に照明するコンデンサー光学系とを有し、前記オプティカルインテグレータは、光源側から順に、長方形状のレンズ断面を有する複数の第1レンズ素子が第1方向に沿って列状に配列された第1レンズ素子群を該第1方向と直交する第2方向に沿って複数配列して構成される第1レンズ群と、所定形状のレンズ断面を有する複数の第2レンズ素子が前記第2方向に沿って列状に配列された第2レンズ素子群を前記第1方向に沿って複数配列して構成される第2レンズ群とを有し、前記第2レンズ群を構成する各第2レンズ素子は、前記第1レンズ群を構成する各第1レンズ素子に対して各々一対一に対応して配置され、前記第1レンズ素子のレンズ断面の前記第1方向での長さをlx1とし、前記第1レンズ素子のレンズ断面の前記第2方向での長さをly1、自然数をm、前記第2方向に沿って第k番目に配列された第1レンズ素子群と,該第k番目に配列された第1レンズ素子群に対して隣接する位置に設けられた第k+1番目または第k-1番目に配列された第1レンズ素子群と,の第1方向に沿ったずれ量をΔlx1、前記第2レンズ素子のレンズ断面の前記第1方向での長さをlx2とし、前記第2レンズ素子のレンズ断面の前記第2方向での長さをly2とするとき、以下の条件を満足することを特徴とする照明光学装置。lx1/ly1=a,a>2Δlx1=aly1/m,m≧2lx2/ly2=a/m2(4a+1)0.5 /2-0.5≦m≦(4a+1)0.5 /2+0.5
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 21/30 515 D
, G02B 27/00 V
, H01L 21/30 527
