両面蒸着フィルムの製造装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森本義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-311784
公開番号（公開出願番号）：特開平9-157847
出願日： 1995年11月30日
公開日（公表日）： 1997年06月17日
要約：

【要約】【課題】製造される両面蒸着フィルムの品質が向上でき生産性が向上できる両面蒸着フィルムの製造装置を提供する。【解決手段】蒸着膜aと接触するクーリングロールBをクーリングロールAに対しても絶縁することにより、クーリングロールAと蒸着膜aとの間を絶縁し、それらの間に電圧印加装置7により電位差を与えて発生した静電引力により、フィルム3をクーリングロールAに密着させ、クーリングロールAによる熱交換効率を改善する。さらに、クーリングロールB自身を絶縁物8により他の部分から絶縁することにより、クーリングロールBと蒸着膜aとの絶縁を不要として、クーリングロールBによる熱交換効率を改善するとともに、フィルム3がクーリングロールB上を走行する際にも、クーリングロールBと蒸着膜aとの間の電気リークを防止する。

請求項（抜粋）：

真空槽内に回転軸を中心にして回転するローラーを2つ配設し、そのうちの第1のローラーにフィルムの一方の面である第1の面を接触させた後、そのフィルムの他方の面である第2の面を前記ローラーのうちの第2のローラーに接触させながら、前記フィルムを搬送して走行させ、前記フィルムが第1のローラー上を走行中には、前記フィルムの第2の面に対して金属を蒸着するとともに、前記フィルムが第2のローラー上を走行中には、前記フィルムの第1の面に対して金属を蒸着し、前記蒸着により発生した熱を各ローラーを介して放熱しながら、前記フィルムの両面に金属が蒸着された両面蒸着フィルムを製造する両面蒸着フィルムの製造装置において、金属が蒸着された前記フィルムの第2の面と第1のローラーとの間に電位差を設ける電圧印加手段を有し、第2のローラーを他の部分から絶縁したことを特徴とする両面蒸着フィルムの製造装置。

IPC (3件)：

C23C 14/56 , H01G 4/015 , H01G 4/18

FI (2件)：

C23C 14/56 A , H01G 4/24 321 A

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開平1-273221
特開昭59-147023
特開昭60-092467

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