透明電極薄膜のエッチング方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：米原正章 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-104034
公開番号（公開出願番号）：特開平6-314592
出願日： 1993年04月30日
公開日（公表日）： 1994年11月08日
要約：

【要約】【目的】エッチ側壁がきれいになって、照射した周辺が盛り上がったり、溶融した物質が飛散したり、残渣が残ったりすることがなく、下地へのダメージも少なくなるようにした透明電極薄膜のエッチング方法を得る。【構成】ハロゲン元素を含む雰囲気ガス内で、基板2上に積層した透明電極薄膜1に、この透明電極薄膜1が吸収する波長域で発振するレーザ3を照射してこの部分を透明電極薄膜1を局部的に除去する。

請求項（抜粋）：

ハロゲン元素を含む雰囲気ガス内で、基板2上に積層した透明電極薄膜1に、この透明電極薄膜1が吸収する波長域で発振するレーザ3を照射してこの部分で透明電極薄膜1を局部的に除去することを特徴とする透明電極薄膜のエッチング方法。

IPC (2件)：

H05B 33/10 , H05B 33/28

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭61-053731
特開昭61-053731
特開平3-232746

全件表示

前のページに戻る