ステージ装置及びこれを用いた露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：飯塚雄二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-108575
公開番号（公開出願番号）：特開平9-275069
出願日： 1996年04月04日
公開日（公表日）： 1997年10月21日
要約：

【要約】【課題】非接触でありながら安定した力でテーブルを支持できるステージ装置及びこれを用いた露光装置を提供すること。【解決手段】ステージ(22)に連結された第1の磁石(38)と、ステージ(22)に連結され、第1の磁石(38)とテーブル(20)との間に所定の間隔を持って配置された第2の磁石(42)と、テーブル(20)に連結され、第1及び第2の磁石(38,42)の間に所定の間隔を持って配置された第3の磁石(46)とを備える。そして、第1の磁石(38)のN極がテーブル(20)側に向き、第2の磁石(42)のN極が第1の磁石(38)のN極に対向し、且つ第3の磁石(46)のN極及びS極が第1及び第2の磁石(38,42)のN極にそれぞれ対向するように、第1、第2及び第3の磁石(38,42,46)を配置する。

請求項（抜粋）：

テーブルをステージ上で少なくとも上下方向に昇降可能に支持するステージ装置において、前記ステージに連結された第1の磁石と;前記ステージに連結され、前記第1の磁石と前記テーブルの間に所定の間隔を持って配置された第2の磁石と;前記テーブルに連結され、前記第1及び第2の磁石の間に所定の間隔を持って配置された第3の磁石とを備え、磁石のN極とS極の一方を第1の磁極、他方を第2の磁極とした場合に、前記第1の磁石の第1の磁極が前記テーブル側に向き、前記第2の磁石の第1の磁極が前記第1の磁石の第1の磁極に対向し、且つ前記第3の磁石の第1及び第2の磁極が前記第1及び第2の磁石の第1の磁極にそれぞれ対向するように、前記第1、第2及び第3の磁石を配置したことを特徴とするステージ装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 515 G , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 503 B

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭59-061132
磁気浮上機構
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-330557 出願人：株式会社荏原製作所
特開昭61-252037

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