特許
J-GLOBAL ID：200903020071564521
筒状分子構造およびその製造方法、並びに前処理基板およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
藤島 洋一郎
, 三反崎 泰司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-259305
公開番号（公開出願番号）：特開2006-342040
出願日： 2005年09月07日
公開日（公表日）： 2006年12月21日
要約：
【課題】 高感度のセンサなどを実現できる筒状分子構造およびその製造方法を提供する。【解決手段】 カーボンナノチューブ(CNT)11と基板10との間にはシリサイド層13が存在し、CNT11は、基板10上の金属触媒粒子12を基点として基板10に対して垂直方向に成長している。CNT11に多くの酵素を立体的に捕捉させることにより酵素センサとして利用することができる。この筒状分子構造1は、有機膜形成工程において3-APMS等のシラン基を有する化合物を用いて形成されるもので、シリコン基板以外の基板を用いても作製される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
シラン基を有する化合物を用いて基板の表面に有機膜を形成する有機膜形成工程と、
前記有機膜上に金属触媒粒子を配置する触媒配置工程と、
前記基板に対して熱処理またはオゾン酸化処理を行うことにより、前記金属触媒粒子を前記基板上に固定化すると共に前記基板と前記金属触媒粒子との間にシリサイド層を形成するシリサイド形成工程と、
前記金属触媒粒子を活性化させると共にこの金属触媒粒子を基点として筒状炭素分子を前記基板に対して垂直方向に成長させる成長工程と
を含むことを特徴とする筒状分子構造の製造方法。
IPC (4件)：
C01B 31/02
, B82B 3/00
, H01M 14/00
, H01L 31/04
C01B31/02 101F
, B82B3/00
, H01M14/00 P
, H01L31/04 Z
4G146AA11
, 4G146AB06
, 4G146AD21
, 4G146AD24
, 4G146AD35
, 4G146BA12
, 4G146BA48
, 4G146BB22
, 4G146BB23
, 4G146BC08
, 4G146BC22
, 4G146BC26
, 4G146BC42
, 4G146BC44
, 4G146BC47
, 5F051AA20
, 5F051BA11
, 5F051CB24
, 5F051CB29
, 5F051CB30
, 5F051DA20
, 5F051GA03
, 5F051GA04
, 5F051GA05
, 5H032AA06
, 5H032AS16
, 5H032BB02
, 5H032HH02
, 5H032HH05
, 5H032HH06
, 5H032HH08
