特許
J-GLOBAL ID：200903020074470242
測光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-251787
公開番号（公開出願番号）：特開平10-096665
出願日： 1996年09月24日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：
【要約】【課題】 光検出器の光電変換面から放出される光電子の個数の平均値を高精度に推定して入射光量を精度よく測定する。【解決手段】 光検出器10の光電変換面13に被測定光束Aが入射して放出された光電子Bは電子増倍部14で増倍されて多数の二次電子が発生し、その二次電子が2以上のアノード電極1501乃至1516のうちの何れかのアノード電極に入射すると、そのアノード電極から電流パルス信号が出力される。アノード電極1501乃至1516それぞれについて、光電子計数部20により、一定のゲート時間内に1個以上の電流パルス信号が出力された事象が計数され、光電子数推定部30により、光電子計数部20による計数値に基づいて、光電変換面13から放出された光電子Bの個数の平均値が推定され、被測定光束Aの光量が求められる。
請求項（抜粋）：
入射した被測定光束の光量に応じた個数の光電子を放出する光電変換面と、前記光電変換面から放出された光電子を増倍して二次電子を発生させる電子増倍部と、前記二次電子の入力に応じて電流パルス信号をそれぞれ出力する2以上の所定数のアノード電極と、前記被測定光束を透過させる入射窓を有し前記光電変換面、前記電子増倍部および前記所定数のアノード電極を内部に含む真空容器と、を有する光検出器と、前記所定数のアノード電極それぞれについて、一定のゲート時間内に1個以上の前記電流パルス信号が出力された事象を計数する光電子計数手段と、前記光電子計数手段により計数された前記事象の計数値に基づいて、前記所定数のアノード電極それぞれに対応する前記光電変換面上の領域それぞれから前記ゲート時間内に放出された光電子の個数の平均値を推定して、前記被測定光束の光量を求める光電子数推定手段と、を備えることを特徴とする測光装置。
IPC (4件)：
G01J 1/42
, G01J 1/02
, G01J 3/443
, G01N 21/64
G01J 1/42 G
, G01J 1/02 D
, G01J 3/443
, G01N 21/64 D
