特許

J-GLOBAL ID：200903020079172720

積層ポリエステルフィルム

発明者： 遠藤 一夫
出願人/特許権者： ダイアホイルヘキスト株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-048707
公開番号（公開出願番号）：特開平9-239932
出願日： 1996年03月06日
公開日（公表日）： 1997年09月16日
要約：

【要約】【課題】 イオン性不純物の含有量が少なく、特に半導体装置製造時に用いる粘着テープの基材として適したフィルムを提供する。【解決手段】 ゲルマニウム元素を10〜200ppm、および平均粒径0.001〜5μmの不活性粒子を0.01〜2重量%含有し、かつ他の金属成分を実質的に含まない最外層を有する二軸延伸積層ポリエステルフィルムであって、最外層と全層との厚み比(最外層/全層)が0.01〜0.4であり、全フィルム厚みが25〜100μmであることを特徴とする積層ポリエステルフィルム。

請求項（抜粋）：

ゲルマニウム元素を10〜200ppm、および平均粒径0.001〜5μmの不活性粒子を0.01〜2重量%含有し、かつ他の金属成分を実質的に含まない最外層を有する二軸延伸積層ポリエステルフィルムであって、最外層と全層との厚み比(最外層/全層)が0.01〜0.4であり、全フィルム厚みが25〜100μmであることを特徴とする積層ポリエステルフィルム。

IPC (6件)：

B32B 27/36 ,  B29C 55/12 ,  H01L 21/304 321 ,  B29K 67:00 ,  B29K105:16 ,  B29L 9:00

FI (3件)：

B32B 27/36 ,  B29C 55/12 ,  H01L 21/304 321 H

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 複合化ポリエステルフィルム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-109587   出願人：ダイアホイルヘキスト株式会社
• 特開昭53-101092
  
• レジスト除去方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-257699   出願人：日東電工株式会社
• 特開昭53-101092