陽極酸化装置および陽極酸化膜形成方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小鍜治明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-088307
公開番号（公開出願番号）：特開平7-292492
出願日： 1994年04月26日
公開日（公表日）： 1995年11月07日
要約：

【要約】【目的】定電圧で陽極酸化する際に、配線と陽極酸化を防止するレジストとの界面で発生する配線の溶断不良を防止する。【構成】定電圧で陽極酸化する際に必要な電流を常時検出して必要最小限の電流に設定する制御系を有することを特徴とする陽極酸化装置を用いて、陽極酸化膜を形成する。

請求項（抜粋）：

電圧および電流をそれぞれ設定する設定系と、卑金属を陽極酸化する際に流れる電流を検出する検出系と、前記検出系で検出された必要最小限の電流に制御する制御系とを有することを特徴とする陽極酸化装置。

IPC (4件)：

C25D 11/04 101 , C25D 11/04 303 , H01L 21/316 , H01L 29/786

引用特許：

審査官引用 (3件)

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