特許
J-GLOBAL ID：200903020105096794
精密基板収納容器のガスケット
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
角南 孝一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-124448
公開番号（公開出願番号）：特開2006-303261
出願日： 2005年04月22日
公開日（公表日）： 2006年11月02日
要約：
【課題】 精密基板が収納された容器は、航空機が上昇するに伴って生じる外気との気圧差により膨張し、航空機が降下すると収縮する。この状態の容器の蓋は開き難い。【解決手段】本発明は、容器本体と蓋体との間に介在するガスケット6に関し、シール部となる当接薄片6dの先端がその基体嵌合部6aの直下より外方に「ヘ」の字形屈曲延伸部6bをもって変位形成したものである。このガスケットを装着した蓋を容器本体に嵌合させるとそのシール部当接薄片6dが断面円弧状のシール溝に嵌合する。この弾力性を有する当接薄片6dは容器と環境との間に気圧差が生じると、低圧側に吸引されてそのシール溝内において摺動する。この摺動中、その接触部に微小な間隙が生じ容器内の気体と外気との間で通気がなされ、容器の変形が生じず、また、気体中のパーティクルが容器内に取り込まれることもなくなる。【選択図】 図6
請求項（抜粋）：
ウエハ等の精密基板複数枚をそれぞれ等間隔で直接に、またはカセットを介して収容する容器本体と、この容器の開口周縁部に装着されるガスケットと、蓋体とからなる薄板支持容器において、蓋体(または容器本体)の開口部周縁に設けられたガスケット装着部に装着される合成樹脂製ガスケットが、その断面形状を上記のガスケット装着部に挿入嵌合される基体嵌合部とその基体嵌合部から容器外方向に「ヘ」の字形に屈折して延出された延伸部とその延伸部の先端に下向きに突設させた当接薄片と、前記延伸部の基部より内方に下向きに形成されたストッパーからなり、一方、前記容器本体(または蓋体)の開口部周縁には蓋閉じ時に前記ガスケットの当接薄片を受容する断面円弧状のシール溝を周設形成し、蓋閉じ完了時にガスケット装着部に装着した前記ガスケットの「ヘ」の字形屈折部を蓋体(または容器本体)が押圧することにより該延伸部の有する弾性力によって当接薄片部が前記円弧状溝に密着させられることを特徴とする精密基板収納容器のガスケット構造。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (19件)：
3E096AA06
, 3E096BA16
, 3E096BA20
, 3E096BB03
, 3E096CA08
, 3E096CB03
, 3E096DA01
, 3E096DA17
, 3E096EA02X
, 3E096FA03
, 3E096FA10
, 3E096GA20
, 5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031DA08
, 5F031EA12
, 5F031FA01
, 5F031FA02
, 5F031NA20
出願人引用 (3件)
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実公平2-49721号(図1)
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薄板収納容器
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-254537
出願人：住友シチックス株式会社, 株式会社柿崎製作所
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収納容器
公報種別：公開公報
出願番号：特願2001-372700
出願人：信越ポリマー株式会社
審査官引用 (2件)
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薄板用収納・保管容器
公報種別：公開公報
出願番号：特願2001-370235
出願人：株式会社柿崎製作所
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ガスケット
公報種別：公開公報
出願番号：特願2001-375259
出願人：エヌオーケー株式会社
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