ガスケット

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：野本陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-375259
公開番号（公開出願番号）：特開2003-172454
出願日： 2001年12月10日
公開日（公表日）： 2003年06月20日
要約：

【要約】【課題】ウエハーキャリアに用いられるガスケットにおいて、シール性などを向上させることができるガスケット1を提供する。【解決手段】ウエハーキャリア2の蓋部材3に装着されて蓋部材3と箱部材5との間をシールするガスケット1であって、箱部材5に接離自在に当接する第一シール部7と、蓋部材3の装着溝4にシール対象物が侵入するのを防ぐ第二シール部8,9とを有している。第一シール部7としては、箱部材5に接離自在に密接するリップタイプシールが好適であり、第二シール部8,9としては、装着溝4の両側において蓋部材3に弾性的に密接するリップタイプシールが好適である。

請求項（抜粋）：

ウエハーキャリア(2)の蓋部材(3)に装着されて前記蓋部材(3)と箱部材(5)との間をシールするガスケット(1)であって、前記箱部材(5)に接離自在に当接する第一シール部(7)と、前記蓋部材(3)のガスケット装着溝(4)にシール対象物が侵入するのを防ぐ第二シール部(8)(9)とを有することを特徴とするガスケット。

IPC (2件)：

F16J 15/10 , H01L 21/68

FI (3件)：

F16J 15/10 T , F16J 15/10 N , H01L 21/68 T

Fターム (11件)：

3J040AA17 , 3J040BA01 , 3J040EA01 , 3J040EA16 , 3J040FA07 , 3J040HA21 , 5F031CA02 , 5F031DA08 , 5F031EA02 , 5F031EA12 , 5F031EA14

引用特許：

審査官引用 (4件)

パッケージ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-193792 出願人：三菱マテリアルシリコン株式会社, 三菱マテリアル株式会社
床面搬送装置のシール部材
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-138883 出願人：株式会社モリタエコノス
封止装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-054154 出願人：東京エレクトロン株式会社

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