特許
J-GLOBAL ID：200903020136510815
液中観察機能付き走査型近視野顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-149281
公開番号（公開出願番号）：特開平9-329606
出願日： 1996年06月11日
公開日（公表日）： 1997年12月22日
要約：
【要約】【課題】 水平振動タイプの走査型近視野顕微鏡において、安定な液中観察を可能にする。【解決手段】 先端を尖鋭化させた光プローブが弾性を有し、試料面に対して実質的に水平にプローブを振動させ、プローブの振動特性の変化を光学的検出手段によって検知することで、プローブ-試料間の距離制御を行い、試料表面の形状と光学的特性を観察する走査型近視野顕微鏡において、一部が液体に直接接する光導入用窓と液体保持セルとを有し、プローブの実質的な振動部分全体が、液中に浸漬する構造である。
請求項（抜粋）：
先端を尖鋭化させた光プローブが弾性を有し、この弾性によって試料面に対して実質的に水平に前記プローブを振動させ、プローブの振動特性の変化を光学的検出手段によって検知することで、プローブ-試料間の距離制御を行い、同時に水平方向の2次元的走査手段によって、試料表面の形状を観察し、かつ、光学的特性を観察する走査型近視野顕微鏡において、一部が液体に直接接する光導入用窓と液体保持セルとを有し、前記プローブの実質的な振動部分全体が、液中に浸漬する構造である液中観察機能付き走査型近視野顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 D
, G01B 11/30 Z
