特許

J-GLOBAL ID：200903020141404020

ウェハ加工用粘着シートおよびその製造方法

発明者： 中 川 昭 男 ,  江 部 和 義
出願人/特許権者： リンテック株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-181327
公開番号（公開出願番号）：特開平9-031425
出願日： 1995年07月18日
公開日（公表日）： 1997年02月04日
要約：

【要約】【課題】 ウェハの裏面研摩時あるいはウェハのダイシング時に、ウェハ並びにチップの破損率を低減できるウェハ加工用粘着シートを提供すること。【解決手段】 フィルムと、その片面または両面に形成されたコーティング層または他のフィルムとからなる、表面平滑性に優れた基材の片面に粘着剤層が形成されてなるウェハ加工用粘着シート。

請求項（抜粋）：

フィルムと、その片面または両面に形成されたコーティング層とからなる、表面平滑性に優れた基材の片面に粘着剤層が形成されてなるウェハ加工用粘着シート。

IPC (7件)：

C09J 7/02 JLE ,  C09J 7/02 JHR ,  C09J 7/02 JJA ,  C09J 7/02 JJC ,  C09J 7/02 JJP ,  C09J 7/02 JKP ,  H01L 21/304 321

FI (7件)：

C09J 7/02 JLE ,  C09J 7/02 JHR ,  C09J 7/02 JJA ,  C09J 7/02 JJC ,  C09J 7/02 JJP ,  C09J 7/02 JKP ,  H01L 21/304 321 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-192542
  
• 特開昭61-260629
  
• ウエハ裏面研削用テープおよびその使用方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-330220   出願人：三井東圧化学株式会社