プラズマ温度分布測定方法および装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-246314
公開番号（公開出願番号）：特開2000-074755
出願日： 1998年08月31日
公開日（公表日）： 2000年03月14日
要約：

【要約】【課題】時間変動の激しいプラズマの温度分布を二次元および三次元的に、非常に短い時間で、且つ正確に測定することのできる、新しいプラズマ温度分布測定方法および装置を提供する。【解決手段】プラズマの温度分布を測定する方法であって、プラズマから発光する平行成分光のうち、プラズマ構成元素の励起原子またはイオンにより放射される輝線スペクトルのみで構成された輝線スペクトル画像を結像し、この輝線スペクトル画像の強度分布からプラズマの温度分布を算出する。

請求項（抜粋）：

プラズマの温度分布を測定する方法であって、プラズマから発光する平行成分光のうち、プラズマ構成元素の励起原子またはイオンにより放射される輝線スペクトルのみで構成された輝線スペクトル画像を結像し、この輝線スペクトル画像の強度分布からプラズマの温度分布を算出することを特徴とするプラズマ温度分布測定方法。

引用特許：

審査官引用 (1件)

プラズマ計測装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-029173 出願人：三菱重工業株式会社, 庄司多津男

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