特許

J-GLOBAL ID：200903020184739263

圧電振動片の製造方法

発明者： 中村 英明 ,  春日 好治 ,  岩本 修 ,  北村 文孝
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-247653
公開番号（公開出願番号）：特開2001-077647
出願日： 1999年09月01日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：

【要約】【課題】 圧電振動片を製造する際の作業効率が高い圧電振動片の製造方法を提供すること。【解決手段】 圧電振動片の基板41に耐蝕膜42,43とフォトレジスト膜44を成膜し、前記圧電振動片の外形形状に対応して前記フォトレジスト膜の不用部分を露光し現像除去する。そして、前記圧電振動片の外形形状に対応した前記耐蝕膜の不用部分をエッチング除去する。さらに、前記圧電振動片の中央部の形状に対応して前記フォトレジスト膜の不用部分を露光し現像除去する。そして、前記基板の露出した部分をエッチング処理し、前記圧電振動片の中央部の形状に対応した前記耐蝕膜の不用部分をエッチング除去し、前記基板の露出している部分をエッチング処理することにより、前記圧電振動片の中央部を含む形状を形成する。これにより、従来のように新たなフォトレジスト膜を成膜・剥離する必要が無くなり、工程を簡略化させて作業効率を向上させ、また作業コストを低減させることができる。

請求項（抜粋）：

中央部が薄板化された圧電振動片の製造方法において、前記圧電振動片の基板に耐蝕膜とフォトレジスト膜を成膜し、前記圧電振動片の外形形状に対応して前記フォトレジスト膜の不要部分を露光し、現像除去し、前記圧電振動片の外形形状に対応した前記耐蝕膜の不要部分をエッチング除去し、前記圧電振動片の中央部の形状に対応して前記フォトレジスト膜の不要部分を露光し、現像除去し、前記基板の露出した部分をエッチング処理し、前記圧電振動片の中央部の形状に対応した前記耐蝕膜の不要部分をエッチング除去し、前記基板の露出している部分をエッチング処理することにより、前記圧電振動片の中央部を含む形状を形成することを特徴とする圧電振動片の製造方法。

IPC (3件)：

H03H 3/02 ,  G03F 7/00 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

H03H 3/02 B ,  G03F 7/00 ,  G03F 7/20 521

Fターム (10件)：

2H096AA27 ,  2H096CA05 ,  2H096EA02 ,  2H096EA12 ,  2H096GA02 ,  2H096HA13 ,  2H096HA14 ,  2H096HA17 ,  2H096JA04 ,  5J108MM08

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 水晶振動子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-033430   出願人：株式会社明電舎
• 水晶振動子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-003361   出願人：シチズン時計株式会社