特許
J-GLOBAL ID：200903020218302773

ジェットノズル及びそれを用いた光源装置

発明者：
中野 真生

中野 真生 について


出願人/特許権者：
株式会社小松製作所

株式会社小松製作所 について

, 
ギガフォトン株式会社

ギガフォトン株式会社 について


代理人 (3件)： 宇都宮 正明 ,  渡部 温 ,  柳瀬 睦肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-002151
公開番号（公開出願番号）：特開2005-197082
出願日： 2004年01月07日
公開日（公表日）： 2005年07月21日
要約：
【課題】 ノズル先端部の流路内への異物の侵入を防止することによって異物によるノズルの目詰まりを抑制し、ターゲット物質の噴射方向を安定させて、ターゲット物質をEUV光源のレーザビーム照射領域に安定的に供給することが可能なジェットノズルを提供する。 【解決手段】 このジェットノズルは、極端紫外光を発生するためにレーザビームが照射されるターゲットとなるターゲット物質を噴射するジェットノズルであって、液体又は気体のターゲット物質を供給するための配管部30と、第1の面において配管部と一体化されたフランジ部を有し、配管部から流入口に供給されるターゲット物質を流路を介して吐出口から噴射するノズル先端部10とを具備し、流入口がフランジ部の第1の面よりも突出した位置に設けられていることにより、流路を有する突出部がノズル先端部に形成されている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
光源装置において用いられ、極端紫外光を発生するためにレーザビームが照射されるターゲットとなるターゲット物質を噴射するジェットノズルであって、 液体又は気体のターゲット物質を供給するための配管部と、 第1の面において前記配管部と一体化されたフランジ部を有し、前記配管部から流入口に供給されるターゲット物質を流路を介して吐出口から噴射するノズル先端部と、 を具備し、前記流入口が前記フランジ部の第1の面よりも突出した位置に設けられていることにより、流路を有する突出部が前記ノズル先端部に形成されている、ジェットノズル。
IPC (7件)：
H05G2/00 ,  G03F7/20 ,  G21K5/00 ,  G21K5/02 ,  G21K5/08 ,  H01L21/027 ,  H05H1/24
FI (7件)：
H05G1/00 K ,  G03F7/20 521 ,  G21K5/00 Z ,  G21K5/02 X ,  G21K5/08 X ,  H05H1/24 ,  H01L21/30 531S
Fターム (5件)：
4C092AA06 ,  4C092AB19 ,  4C092AC09 ,  5F046GA03 ,  5F046GC03
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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