特許
J-GLOBAL ID：200903020226998116
カンチレバー状の圧電薄膜素子およびその製造方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小野 由己男
, 稲積 朋子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-127018
公開番号（公開出願番号）：特開2004-328745
出願日： 2004年04月22日
公開日（公表日）： 2004年11月18日
要約：
【課題】 エアギャップ圧電薄膜共振素子(FBAR)およびその製造方法を開示する。【解決手段】圧電薄膜共振素子の製造方法は、(a)基板上に絶縁層を積層するステップと、(b)所定の領域を除いた絶縁層の上部に犠牲層を積層するステップと、(c)露出された絶縁層および犠牲層の所定の領域上に下部電極をカンチレバー積層してカンチレバー型に製造するステップと、(d)下部電極上に圧電層を積層するステップと、(e)圧電層上に上部電極層を積層するステップと、(f)犠牲層をエッチングしてエアギャップを作るステップとを含む。【選択図】 図3A
請求項（抜粋）：
圧電薄膜共振素子の製造方法において、
(a)基板上に絶縁層を積層するステップと、
(b)所定の領域を除いた前記絶縁層の上部に犠牲層を積層するステップと、
(c)前記絶縁層および前記犠牲層の所定領域上に下部電極を積層するステップと、
(d)前記下部電極上に圧電層を積層するステップと、
(e)前記圧電層上に上部電極層を積層するステップと、
(f)前記犠牲層をエッチングしてエアギャップを作るステップと、
を含むことを特徴とする圧電薄膜共振素子の製造方法。
IPC (8件)：
H03H3/02
, H01L41/08
, H01L41/09
, H01L41/18
, H01L41/187
, H01L41/22
, H03H3/04
, H03H9/17
H03H3/02 B
, H03H3/04 B
, H03H9/17 F
, H01L41/08 C
, H01L41/18 101B
, H01L41/18 101Z
, H01L41/08 D
, H01L41/22 Z
5J108AA02
, 5J108CC04
, 5J108CC11
, 5J108KK05
, 5J108MM11
, 5J108NA04
, 5J108NB04
出願人引用 (1件)
審査官引用 (6件)
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弾性波素子の製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2001-202903
出願人：株式会社日立製作所
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特開昭58-137317
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特開昭59-057595
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