特許

J-GLOBAL ID：200903020269747680

固体撮像素子

発明者： 友澤 淳 ,  鳥井 秀雄
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-330810
公開番号（公開出願番号）：特開2006-140413
出願日： 2004年11月15日
公開日（公表日）： 2006年06月01日
要約：

【課題】 受光部への集光効率が高く、クロストークが少ない固体撮像装置を提供する。【解決手段】 表面に2次元に配置された複数個の受光部100を備える基板130上に絶縁膜101aが設けられる。絶縁膜に対して受光部とは反対側であって、受光部が配置された領域以外の絶縁膜の領域の上方に層間絶縁膜102が設けられ、受光部が配置された領域に対応する絶縁膜上の領域に、層間絶縁膜に囲まれて、層間絶縁膜よりも屈折率の高い材料によりなる光導波路1が設けられる。光導波路上に集光レンズ2、カラーフィルター3が順に設けられる。集光レンズと受光部との距離が短くなり、光導波路内に斜め入射した光は層間絶縁膜との界面で全反射して受光部に達するため、集光効率が向上し、クロストークが低減する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

表面に2次元に配置された複数個の受光部を備える基板と、 前記基板上に設けられた絶縁膜と、 前記絶縁膜に対して前記受光部とは反対側であって、前記受光部が配置された領域以外の前記絶縁膜の領域の上方に設けられた層間絶縁膜と、 前記絶縁膜に対して前記受光部とは反対側であって、前記受光部が配置された領域に対応する前記絶縁膜の領域上に、前記層間絶縁膜に囲まれて設けられた、前記層間絶縁膜よりも屈折率の高い材料によりなる光導波路と、 前記光導波路上に設けられた集光レンズと、 前記集光レンズの表面上に設けられたカラーフィルターと を備えることを特徴とする固体撮像素子。

IPC (2件)：

H01L 27/14 ,  G02B 5/20

FI (2件)：

H01L27/14 D ,  G02B5/20 101

Fターム (25件)：

2H048BA02 ,  2H048BA45 ,  2H048BB02 ,  2H048BB10 ,  2H048BB46 ,  4M118AA01 ,  4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118BA13 ,  4M118BA14 ,  4M118CA03 ,  4M118FA06 ,  4M118FA26 ,  4M118FA33 ,  4M118GA09 ,  4M118GB06 ,  4M118GB07 ,  4M118GB11 ,  4M118GB18 ,  4M118GC08 ,  4M118GC14 ,  4M118GC17 ,  4M118GC20 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 層内レンズ付き半導体装置およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-023772   出願人：シャープ株式会社
• 固体撮像素子とその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-283256   出願人：ソニー株式会社