特許
J-GLOBAL ID:200903024431828504
層内レンズ付き半導体装置およびその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
野河 信太郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-023772
公開番号(公開出願番号):特開2003-224251
出願日: 2002年01月31日
公開日(公表日): 2003年08月08日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 透明膜と透明膜上に形成されるカラーフィルタやマイクロレンズなどの光学部品との密着性を改善し、歩留まりが良く品質の低下が生じない層内レンズ付き半導体装置を提供する。【解決手段】 層内レンズ付き半導体装置は、受光又は発光素子を内部に備えた半導体基板31と、半導体基板31の受光又は発光部の上に配設された透明材料からなるオーバーコート層40と、該オーバーコート層40上に形成された層内レンズ43と、層内レンズ上に形成された上面が平坦な第1透明膜44と、第1透明膜上に形成された上面が平坦な第2透明膜45とを備える。
請求項(抜粋):
受光又は発光素子を内部に備えた半導体基板と、半導体基板の受光又は発光部の上に配設された透明材料からなるオーバーコート層と、オーバーコート層上に形成された層内レンズと、層内レンズ上に形成された上面が平坦な第1透明膜と、第1透明膜上に形成された上面が平坦な第2透明膜とを備える層内レンズ付き半導体装置。
IPC (5件):
H01L 27/14
, G02B 3/00
, H01L 31/10
, H01L 33/00
, H04N 5/335
FI (5件):
G02B 3/00 A
, H01L 33/00 A
, H04N 5/335 U
, H01L 27/14 D
, H01L 31/10 A
Fターム (26件):
4M118AA10
, 4M118AB01
, 4M118BA06
, 4M118BA10
, 4M118BA14
, 4M118CA03
, 4M118CA40
, 4M118CB02
, 4M118CB14
, 4M118DA20
, 4M118EA01
, 4M118GC08
, 4M118GD04
, 5C024CX41
, 5C024EX43
, 5C024EX52
, 5F041AA06
, 5F041CA73
, 5F041CA74
, 5F041CB14
, 5F049NA04
, 5F049NB05
, 5F049PA11
, 5F049PA14
, 5F049SZ06
, 5F049SZ20
引用特許: