特許
J-GLOBAL ID：200903020296676507
クリーニング機構及びクリーニング方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-323756
公開番号（公開出願番号）：特開平11-145219
出願日： 1997年11月10日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：
【要約】【課題】 従来のクリーニング機構の場合には、研磨時に研磨板から削り屑等の付着物が飛散するなどの不都合があり、しかも研磨板がメインチャックから水平に張り出しているため、全てのプローブ針1を研磨する時のメインチャックの移動範囲が広くなり装置の大型化を招く。【解決手段】 本発明のクリーニング機構30は、ウエハWを載置するメインチャック19に付設され且つウエハWの電気的特性検査に用いられるプローブカード21のプローブ針21Aをクリーニングする機構で、プローブ針21Aよりも細く且つプローブ針21Aの先端部と当接した時に全長に渡って屈曲する腰の強い繊維部材からなるブラシ32Aを有するとブラシクリーナ32と、ゴム及び無機充填剤とからなる砂消し状のクリーナ層31Aを有するソフトクリーナ31とを備えたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
被検査体を載置する載置台に付設され且つ上記被検査体の電気的特性検査に用いられるプローブカードをクリーニングするクリーニング機構において、上記プローブ端子よりも細く且つ上記プローブカードのプローブ端子の先端部と当接した時に全長に渡って屈曲する腰の強い繊維部材からなるブラシを有するブラシクリーナと、ゴム及び無機充填剤とからなる砂消し状のクリーナ層を有するソフトクリーナとを備えたことを特徴とするクリーニング機構。
IPC (4件)：
H01L 21/66
, G01R 1/06
, G01R 31/28
, H01L 21/304 341
H01L 21/66 B
, G01R 1/06 E
, H01L 21/304 341 Z
, G01R 31/28 K
