特許
J-GLOBAL ID:200903020326655267

低温装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高橋 敬四郎 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-266903
公開番号(公開出願番号):特開2003-075004
出願日: 2001年09月04日
公開日(公表日): 2003年03月12日
要約:
【要約】【課題】 メンテナンス効率及び冷却効率を高めることが可能な低温装置を提供する。【解決手段】 パルス管に、高温端と低温端とが画定されている。筒状の蓄冷器ケースに高温端と低温端とが画定されている。カートリッジケースが蓄冷器ケース内に着脱可能に挿入されている。カートリッジケース内に蓄冷材が充填されている。冷却ステージ内に設けられた流路が、蓄冷器ケース内の空間の低温端と、パルス管内の空間の低温端とを相互に連通させる。ガス供給装置が、カートリッジケース内への作動ガスの供給と、カートリッジケース内からの作動ガスの回収とを繰り返す。冷却対象物が、冷却ステージに取り付けられ、冷却ステージと熱的に結合している。
請求項(抜粋):
高温端と低温端とが画定され、内部に空洞を有する第1のパルス管と、高温端と低温端とが画定された筒状の第1の蓄冷器ケースと、第1のカートリッジケース及び該第1のカートリッジケース内に充填された第1の蓄冷材を含み、該第1のカートリッジケースが前記第1の蓄冷器ケース内に着脱可能に挿入されている第1の蓄冷器と、前記第1の蓄冷器ケース内の、前記第1の蓄冷器が挿入されている空間の低温端と、前記第1のパルス管内の空間の低温端とを相互に連通させる第1の流路が設けられた冷却ステージと、前記第1のカートリッジケース内への作動ガスの供給と、該第1のカートリッジケース内からの作動ガスの回収とを繰り返すガス供給装置と、前記冷却ステージに取り付けられ、該冷却ステージと熱的に結合した冷却対象物とを有する低温装置。
IPC (3件):
F25B 9/00 311 ,  F25B 9/00 ,  F04B 37/08
FI (4件):
F25B 9/00 311 ,  F25B 9/00 D ,  F25B 9/00 H ,  F04B 37/08
Fターム (11件):
3H076AA25 ,  3H076AA26 ,  3H076AA27 ,  3H076BB04 ,  3H076BB28 ,  3H076BB38 ,  3H076BB40 ,  3H076BB43 ,  3H076BB45 ,  3H076CC51 ,  3H076CC54
引用特許:
審査官引用 (5件)
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