塗布装置及び塗布方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-356203
公開番号（公開出願番号）：特開2000-176351
出願日： 1998年12月15日
公開日（公表日）： 2000年06月27日
要約：

【要約】【課題】定常塗布時にはダイ・コーターのマニホールドやスリット中のエアーを皆無にし、したがってスジやピンホール等の塗布故障を皆無にし、高品質のビード塗布やカーテン塗布が安定して持続できるようにする。【解決手段】マニホールド及びスリットを有する、ダイ・コーターを用いた塗布装置において、マニホールドの一端又は両端に液排出口を設け、その排出口につながる配管が一旦鉛直方向上方へのに立ち上がり成分を有し、その後下方への立ち下がり成分を有するよう配置し、その配管途中でマニホールドより鉛直方向高い立ち上がり成分位置で大気開放部を設けたことを特徴とする塗布装置。

請求項（抜粋）：

マニホールド及びスリットを有する、ダイ・コーターを用いた塗布装置において、マニホールドの一端又は両端に液排出口を設け、その排出口につながる配管が一旦鉛直方向上方への立ち上がり成分を有し、その後鉛直下方への立ち下がり成分を有するよう配置し、その配管途中でマニホールドより鉛直方向高い立ち上がり成分位置で大気開放部を設けたことを特徴とする塗布装置。

IPC (3件)：

B05C 11/10 , B05C 5/02 , B05D 1/26

FI (3件)：

B05C 11/10 , B05C 5/02 , B05D 1/26 Z

Fターム (15件)：

4D075AC04 , 4D075AC56 , 4D075AC72 , 4D075AC80 , 4D075AC84 , 4D075DA03 , 4F041AA12 , 4F041CA02 , 4F041CA13 , 4F041CA17 , 4F041CA23 , 4F042CB02 , 4F042CB03 , 4F042CB08 , 4F042CB18

引用特許：

審査官引用 (6件)

ダイコータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-224594 出願人：三菱化成株式会社
塗布膜形成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-331663 出願人：東京エレクトロン株式会社
特開平4-265175

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