特許
J-GLOBAL ID:200903020339471890

可とう性成形型及びそれを用いた微細構造体の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件): 石田 敬 ,  鶴田 準一 ,  福本 積 ,  西山 雅也 ,  樋口 外治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-201539
公開番号(公開出願番号):特開2004-047226
出願日: 2002年07月10日
公開日(公表日): 2004年02月12日
要約:
【課題】格子パターンのPDPリブやその他の微細構造体を製造するのに有用で、気泡の発生、パターンの変形等の欠陥を伴わないで高精度に製造できる可とう性成形型を提供すること。【解決手段】10〜80°Cで粘度が3000〜100000cpsである第1硬化性材料からなる基層と、その記基層の表面を被覆した、10〜80°Cで粘度が200cps以下である第2硬化性材料からなる被覆層とを備えるように構成する。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
予め定められた形状及び寸法を有する溝パターンを表面に備えた可とう性成形型であって、 10〜80°Cで粘度が3,000〜100,000cpsである第1硬化性材料からなる基層と、 前記基層の表面を被覆した、10〜80°Cで粘度が200cps以下である第2硬化性材料からなる被覆層と、 を備えてなることを特徴とする可とう性成形型。
IPC (2件):
H01J9/02 ,  H01J11/02
FI (2件):
H01J9/02 F ,  H01J11/02 B
Fターム (12件):
5C027AA09 ,  5C027AA10 ,  5C040FA10 ,  5C040GF03 ,  5C040GF19 ,  5C040GF20 ,  5C040JA19 ,  5C040JA20 ,  5C040JA31 ,  5C040KA16 ,  5C040KB24 ,  5C040MA24
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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