特許
J-GLOBAL ID：200903020341737199
差圧検出器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-319552
公開番号（公開出願番号）：特開平10-160603
出願日： 1996年11月29日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：
【要約】【課題】 シリコン圧力センサ素子を差圧検出部として用い、静水圧による誤差の発生を招くことなく、高圧側圧力及び低圧側圧力の差圧量(高圧側圧力-低圧側圧力)を正確に検出する。【解決手段】 差圧の検出に供されるシリコン材を用いた圧力センサ素子1を、穴明き台座2を介してセンサパッケージ3へ実装してなり、原子力プラント向け現場差圧指示計製品等に利用される差圧検出器において、静水圧による影響を受けずに真の差圧値だけを検出するように、台座2の材質を圧力センサ素子1の材質と同じシリコンにした。
請求項（抜粋）：
差圧の検出に供されるシリコン材を用いた圧力センサ素子を、穴明き台座を介してセンサパッケージへ実装してなる差圧検出器において、前記台座の材質を、前記圧力センサ素子の材質と同じシリコンにしたことを特徴とする差圧検出器。
IPC (2件)：
G01L 9/04 101
, G21C 17/02
G01L 9/04 101
, G21C 17/02 B
