特許
J-GLOBAL ID：200903021901225810
圧力センサ及びその製造方法
出願人/特許権者：
株式会社日立製作所
株式会社日立製作所 について
代理人 (1件)： 春日 讓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-041792
公開番号（公開出願番号）：特開平8-240494
出願日： 1995年03月01日
公開日（公表日）： 1996年09月17日
要約：
【要約】【目的】 温度サイクルや高い静圧に拘らず、高精度の検出特性を有する信頼性の高い圧力センサを実現する。【構成】 ポスト12aの外径はシリコン台10の外形より小であり中央部の貫通孔100の径より大であるため、ポスト12aとシリコン台10との接合面積が小さい。中心剛体部2とシリコン台10との接触を回避するため切り欠き部10aがシリコン台10に形成されている。切り欠き部10aは、ほぼ円形であり、この切り欠き部10aの径は中心剛体部2の径より大となっている。この切り欠き部10aに続いて、切り欠き部10aの径より小の径を有する貫通孔100が形成される。接合面積が小さいため、接合行程での熱歪の低減が可能となり、熱歪による圧力センサのオフセット電圧のずれ、スパンの変調を抑制でき、圧力センサの出力温度特性を改善することができる。
請求項（抜粋）：
感歪素子が形成され、測定する圧力に応じて変形するシリコンダイアフラムと、中央部に貫通孔を有し、上記シリコンダイアフラムに接合されるシリコンからなる第1の固定台と、この第1の固定台の貫通孔と連通する貫通孔を中央部に有し、上記第1の固定台に接合される金属材からなる第2の固定台とを備える圧力センサにおいて、第2の固定台の第1の固定台に接合される接合面の面積は、第1の固定台の第2の固定台に接合される面の面積より小であり、第1の固定台には、シリコンダイアフラムが変形する部分に対向する位置に、上記貫通孔の断面積より大の断面積を有する切り欠き部が形成されていることを特徴とする圧力センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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