特許
J-GLOBAL ID：200903020359554326
露光装置、及びデバイス製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福田 充広
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-315770
公開番号（公開出願番号）：特開2008-130914
出願日： 2006年11月22日
公開日（公表日）： 2008年06月05日
要約：
【課題】光源光の分離及びこれに伴う熱負荷を除去できる極端紫外線用の露光装置、及びデバイス製造方法を提供すること。【解決手段】露光装置10は、光源装置50から照明光学系60にかけての光路上に、分離膜91を設けることにより、この分離膜91に対して透過性を有する極端紫外線を選択的に照明光学系60側へと導くことができる。これにより、露光光以外の光がマスクに導かれることを抑制でき、高精度な露光が可能となる。さらに、この分離膜91は、非露光光を分岐して入射側の光路に戻らないようにできるので、光源装置50や照明光学系60の加熱を抑制し、安定な状態に保つことができる。また、非露光光を受光する光吸収性部材92を設けることにより、非露光光が散乱し迷光となって弊害が生じるのを防止することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
極端紫外線を含む所定波長域の光源光を放出する光源と、
前記極端紫外線を転写用のマスクに導く照明光学系と、
前記光源から前記照明光学系にかけての光路上に配置され、前記光源光のうち、前記極端紫外線以外の非露光光を反射させることで、前記光源光から前記非露光光を分離する分離膜と、
前記分離膜によって分離された前記非露光光を受光する光吸収性部材と、
を備える露光装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 531A
, G03F7/20 521
5F046BA05
, 5F046CB01
, 5F046CB02
, 5F046CB07
, 5F046CB08
, 5F046CB22
, 5F046CB23
, 5F046DA01
, 5F046DA26
, 5F046GA03
, 5F046GA14
, 5F046GB01
, 5F046GB07
