特許
J-GLOBAL ID：200903066891644384

多層膜反射鏡及び露光装置

発明者：
白石 雅之

白石 雅之 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 渡部 温 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-128816
公開番号（公開出願番号）：特開2003-014893
出願日： 2002年04月30日
公開日（公表日）： 2003年01月15日
要約：
【要約】【課題】 光学特性を劣化させずに、入射角度に依存することなく高い反射率を得られる多層膜反射鏡及びそれを用いたX線露光装置を提供する。【解決手段】 多層膜反射鏡50は、軟X線領域での屈折率と真空の屈折率との差が大きい物質からなるMo層56と小さいSi層57とを基板55上に交互に積層して形成される。Mo層56の厚さとSi層57の厚さとの合計に対するMo層56の厚さの比(Γ)が、反射鏡面内におけるX線の入射角度分布に基づいた分布を有する。Γを、反射鏡面内で入射角度分布に対応させて分布させることにより、反射鏡面内の各点の入射角度において、最大の反射率を得ることができる。このとき周期長を変える必要がないため、反射鏡の光学性能を劣化させることがない。
請求項（抜粋）：
軟X線領域での屈折率と真空の屈折率との差が大きい物質からなる第1層と小さい物質からなる第2層とを基板上に交互に積層してなる多層膜反射鏡において、前記第1層の厚さと前記第2層の厚さとの合計に対する前記第1層の厚さの比が、反射鏡面内で分布を有することを特徴とする多層膜反射鏡。
IPC (4件)：
G21K 1/06 ,  G03F 7/20 503 ,  G21K 5/02 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
G21K 1/06 C ,  G03F 7/20 503 ,  G21K 5/02 X ,  H01L 21/30 531 A
Fターム (7件)：
2H097CA15 ,  2H097GB00 ,  2H097LA10 ,  5F046CB02 ,  5F046CB23 ,  5F046CB25 ,  5F046GB01
引用特許：
審査官引用 (6件)
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