プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-347647
公開番号（公開出願番号）：特開平6-252071
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：

【要約】【目的】新規なプラズマ処理方法を提供する。【構成】シートビーム型のプラズマを用いてプラズマ処理を行なう。このシートビーム状のプラズマは、一対の電極間において一方の電極にスリットを設け、このスリットから反応性気体を噴出させることによって実現させる。

請求項（抜粋）：