特許
J-GLOBAL ID：200903020435707366
プローブカード
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 毅巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-095647
公開番号（公開出願番号）：特開平10-288628
出願日： 1997年04月14日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：
【要約】【課題】 プローブカードに関し、高耐圧素子を破壊することなく高電圧を印加した測定ができるようにすることを目的とする。【解決手段】 プローブカード10は基盤11の中央に開口部12を有し、その上に、一端が開口部12を貫通し、他端が基盤11に固定された複数のブレード14が放射状に配置されている。ブレード14の一端には被測定半導体素子のパッドに接触させる導電性の針15が固着されている。ブレード14は配線17によって基盤11の外周に沿って設けられて測定装置に接続されるターミナルピン13に電気的に直接接続され、また、抵抗16および配線18により別のターミナルピン13にも接続されている。これにより、一つのプローブカード10で低耐圧素子はもちろん、電流制限機能を持つ抵抗16が接続されたターミナルピン13を利用することで高耐圧素子に高電圧を印加しての測定が可能になる。
請求項（抜粋）：
半導体素子の電極に接触させて電気的測定を行う導電性の針を備えたプローブカードにおいて、半導体素子の電極に直接接触させる針と電気的測定のための外部の装置に接続するターミナルピンとの間に電流制限手段を備えたことを特徴とするプローブカード。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/073 E
, H01L 21/66 B
