特許
J-GLOBAL ID：200903020461084415

透光性物質の不均一性検査方法及びその装置

発明者：
田辺 勝

田辺 勝 について


出願人/特許権者：
ホーヤ株式会社

ホーヤ株式会社 について


代理人 (1件)： 阿仁屋 節雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-360069
公開番号（公開出願番号）：特開平11-190699
出願日： 1997年12月26日
公開日（公表日）： 1999年07月13日
要約：
【要約】【課題】 レーリー散乱光の影響を低減し、透光性物質に存在する微細な不均一性を高感度・高速度に検出する。【解決手段】 レーザー2から出射された直線偏光のレーザー光Lを透明基板1に入射する。基板1内に導入したレーザー光Lは、基板1の表面で全反射を繰り返しながら伝播し、基板1内に閉じ込められたような状態となる。透明基板1に傷などの不均一部分があると、基板1表面で全反射条件が満足されずに外部に光が漏れ出す。この不均一性の検出光の他に、基板1からの光にはレーリー散乱光も含まれるが、レーリー散乱光と不均一の検出光とは偏光特性が異なることから、偏光フィルター6でレーリー散乱光をカットし、不均一性の検出光をCCD6で検出する。
請求項（抜粋）：
透光性物質の不均一性の検査する方法において、前記透光性物質の光路が光学的に均一の場合には前記表面で全反射を繰り返して伝播するように透光性物質内に偏光を持った光を導入し、前記透光性物質内に導入され伝播する光の光路中に不均一部分が存在する場合、前記表面から漏出する光によって透光性物質の不均一性を検査するときに、前記不均一部分による表面から漏出する光以外の光を除去して検出するようにしたことを特徴とする透光性物質の不均一性検査方法。
引用特許：
審査官引用 (4件)
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