能動的除振装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-182269
公開番号（公開出願番号）：特開平9-015868
出願日： 1995年06月27日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】露光用XYステージを搭載してなる半導体製造装置の一構成ユニットとして好適に使用される除振装置を提供する。【構成】除振台、これを支持する空気バネ、その圧力を調整するサーボバルブ1、除振台の変位を計測する位置センサ3、除振台に予圧を付与する予圧用機械バネ、および空気バネ式支持脚と、位置センサの出力を電気信号に変換する変位増幅器11と、変位増幅器の出力と所定の目標電圧13とを比較するための比較回路12と、比較回路の偏差信号に対して補償を施すPI補償器14と、除振台に対し空気バネが付与する力を検出する荷重センサ16と、荷重センサの出力を電気信号に変換する荷重検出器17Aと、荷重検出器の出力に対して補償を施す荷重補償器17Bと、PI補償器の出力に対して荷重補償器の負帰還信号を加算した信号に基づいてサーボバルブに駆動電流を付与する電圧電流変換器10とを具備する。

請求項（抜粋）：

空気バネをアクチュエータとした除振台の制振および位置制御を行なう能動的除振装置であって、除振台、これを支持する前記空気バネ、その圧力を調整するサーボバルブ、前記除振台を設置した基礎を基準とする前記除振台の変位を計測する位置センサ、前記除振台に予圧を付与する予圧用機械バネ、および前記除振台に働く粘性要素を有する空気バネ式支持脚と、前記位置センサの出力を電気信号に変換する変位増幅器と、前記変位増幅器の出力と所定の目標電圧とを比較するための比較回路と、前記比較回路の出力信号である偏差信号に対して補償を施すPI補償器と、前記除振台に対し前記空気バネが付与する力を検出する荷重センサと、前記荷重センサの出力を電気信号に変換する荷重検出器と、前記荷重検出器の出力に対して補償を施す荷重補償器と、前記PI補償器の出力に対して前記荷重補償器の負帰還信号を加算した信号に基づいて前記サーボバルブに駆動電流を付与する電圧電流変換器とを具備することを特徴とする能動的除振装置。

IPC (3件)：

G03F 7/22 , H01L 21/027 , H01L 21/68

FI (3件)：

G03F 7/22 H , H01L 21/68 , H01L 21/30 515 G

引用特許：

審査官引用 (3件)

鉛直方向除振台の制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-175957 出願人：キヤノン株式会社
特開昭63-106019
特開昭63-106019

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