非接触型電圧測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-224851
公開番号（公開出願番号）：特開平7-083965
出願日： 1993年09月10日
公開日（公表日）： 1995年03月31日
要約：

【要約】【目的】非接触型電気測定装置のS/N比を向上させる。【構成】EO素子と被測定物の電界により変調のかかったレーザ光の偏光ビームスプリッタで分離した同相、逆相成分を1/2λ板を回転させることで制御し同量とする。また片方の光検出器を移動する事により分離されたレーザ光の位相を調整する。この分離、光量・位相調整されたレーザ光の差分をとる。【効果】電気的な付加回路が必要なく、同期をとるための参照信号も必要としない。

請求項（抜粋）：

被試験物の測定点に印加される電圧により電界が加えられるEO素子と、このEO素子を通過したレーザ光を同相,逆相成分に分離する偏光ビームスプリッタと、前記EO素子を通過したレーザ光の偏光面の前記偏光ビームスプリッタに対する入射角を調整し前記測定点の電圧が所定の状態である時の前記偏光ビームスプリッタで分離される同相,逆相成分の光量を同量にする1/2λ板と、それぞれが前記偏光ビームスプリッタで分離されたレーザ光の同相及び逆相成分のそれぞれを電気信号に変換する第1及び第2のフォトディテクタと、この第1及び第2のフォトディテクタの出力の差分をとる作動増幅器とを含むことを特徴とする非接触型電圧測定装置。

IPC (3件)：

G01R 19/00 , G01R 31/302 , H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (1件)

信号測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-335204 出願人：富士通株式会社

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