特許
J-GLOBAL ID:200903020565212474
耐熱性合成石英ガラスの製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
服部 平八
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-111850
公開番号(公開出願番号):特開平7-300324
出願日: 1994年04月28日
公開日(公表日): 1995年11月14日
要約:
【要約】【目的】 緻密で、耐熱性の高い高純度合成石英ガラスの製造方法を提供すること。【構成】 見かけ密度が0.1〜0.5g/cm3で、密度分散が±30%以内であるシリカ質多孔体を、アンモニアを含む雰囲気中で加熱処理したのち、非酸化性雰囲気下で加熱焼結させ、次いで非酸化性雰囲気ガス中にて500kg/cm2以上の圧力下、1400〜2000°Cの温度範囲で高温加熱処理する耐熱性合成石英ガラスの製造方法。
請求項(抜粋):
シリカ質多孔体を、アンモニアを含む雰囲気中で加熱処理したのち、非酸化性雰囲気下で加熱焼結させ、次いで非酸化性雰囲気ガス中にて500kg/cm2以上の圧力下、1400〜2000°Cの温度範囲で高温加熱処理することを特徴とする耐熱性合成石英ガラスの製造方法。
IPC (2件):
引用特許:
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