特許
J-GLOBAL ID：200903020579254587

窒化アルミニウム焼結体およびセラミック基板

発明者：
平松 靖二

平松 靖二 について

, 
伊藤 康隆

伊藤 康隆 について


出願人/特許権者：
イビデン株式会社

イビデン株式会社 について


代理人 (1件)： 安富 康男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-048262
公開番号（公開出願番号）：特開2001-233675
出願日： 2000年02月24日
公開日（公表日）： 2001年08月28日
要約：
【要約】【課題】 機械的強度に優れ、その表面や側面からセラミック粒子が脱落してパーティクルが発生することがない窒化アルミニウム焼結体を提供する。【解決手段】 イオウを含有していることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体。
請求項（抜粋）：
イオウを含有していることを特徴とする窒化アルミニウム焼結体。
IPC (7件)：
C04B 35/581 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/68 ,  H05B 3/10 ,  H05B 3/20 393
FI (7件)：
H01L 21/205 ,  H01L 21/66 Z ,  H01L 21/68 R ,  H05B 3/10 C ,  H05B 3/20 393 ,  C04B 35/58 104 A ,  H01L 21/30 541 L
Fターム (80件)：
3K034AA02 ,  3K034AA03 ,  3K034AA04 ,  3K034AA05 ,  3K034AA08 ,  3K034AA10 ,  3K034AA15 ,  3K034AA16 ,  3K034AA34 ,  3K034AA37 ,  3K034BA06 ,  3K034BA13 ,  3K034BA14 ,  3K034BB06 ,  3K034BB14 ,  3K034BC04 ,  3K034BC17 ,  3K034CA02 ,  3K034CA17 ,  3K034CA25 ,  3K034CA27 ,  3K034DA04 ,  3K034FA13 ,  3K034HA01 ,  3K034HA10 ,  3K034JA10 ,  3K092PP03 ,  3K092PP20 ,  3K092QA05 ,  3K092QB02 ,  3K092QB26 ,  3K092QB31 ,  3K092QB43 ,  3K092QB49 ,  3K092QB62 ,  3K092QC02 ,  3K092QC25 ,  3K092RF03 ,  3K092RF11 ,  3K092RF19 ,  3K092RF27 ,  3K092SS02 ,  3K092SS04 ,  3K092VV03 ,  3K092VV26 ,  4G001BA03 ,  4G001BA33 ,  4G001BA36 ,  4G001BA81 ,  4G001BB09 ,  4G001BB33 ,  4G001BB36 ,  4G001BB67 ,  4G001BB73 ,  4G001BC13 ,  4G001BC35 ,  4G001BC42 ,  4G001BD14 ,  4G001BD38 ,  4G001BE26 ,  4G001BE35 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106DH02 ,  4M106DJ40 ,  5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA18 ,  5F031HA33 ,  5F031HA37 ,  5F031MA28 ,  5F031MA32 ,  5F031PA26 ,  5F045BB15 ,  5F045DP02 ,  5F045EK09 ,  5F056BA08 ,  5F056CB21 ,  5F056CC04 ,  5F056EA14
引用特許：
審査官引用 (5件)
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