研磨方法及び装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松井茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-028628
公開番号（公開出願番号）：特開平6-218664
出願日： 1993年01月25日
公開日（公表日）： 1994年08月09日
要約：

【要約】【目的】研磨小片の動きを活発にして研磨効率を高め、研磨時間を短縮するとともに、仕上がりの外観を良好にする。【構成】回転体17の底壁と周壁とに、円周方向に沿って2〜8の偶数で分割された極数となり、かつ、N極とS極とが交互になるように磁石22、23を配置する。この回転体17の内周に近接して配置された支持板24上に、被研磨材である指輪台8と研磨用小片9とを充填した容器10を設置し、回転体17を3,000 〜10,000回転/分で回転させる。

請求項（抜粋）：

磁石を装着された回転体(17)に近接して容器(10)を配置し、この容器(10)内に研磨用小片(9)及び被研磨部材(8)を充填し、前記回転体(17)を回転させて前記研磨用小片(9)を磁力によって動かすことにより、前記被研磨部材(8)を研磨する方法において、前記回転体(17)には、前記容器(10)の底壁に近接して配置される磁石群(22)と、前記容器(10)の周壁に近接して配置される磁石群(23)とを、円周方向に沿って2〜8の偶数で分割された極数となるように、かつ、N極とS極とが交互になるように装着し、前記回転体(17)を3,000 〜10,000回転/分で回転させて、N極とS極とを前記容器(10)の底壁及び周壁に交互に近接させることにより研磨を行うことを特徴とする研磨方法。

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平3-161267
特開平4-041172
特開平3-066560

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