試料研磨方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：遠山勉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-342765
公開番号（公開出願番号）：特開平9-183047
出願日： 1995年12月28日
公開日（公表日）： 1997年07月15日
要約：

【要約】【課題】被研磨体の特性の劣化を与えず、しかも、作業工程が簡単な試料研磨方法を提供する。【解決手段】ヤトイ材11として、貫通穴21が予め設けられた板状部材を用い、被研磨体である試料12を、その貫通穴21内に、基準板13を利用して配置し(a)、ホットメルト材14によって、試料12とヤトイ材11および基準板13とを一体化する(b)。次に、必要である場合には、一体化した部材の一面を研削し(c)、一体化した部材から、ヤトイ材11と試料12とホットメルト材14からなるヤトイ15を分離し、分離したヤトイ15を研磨する(d)ことによって、試料12の研磨を行う。そして、溶剤23を用いてホットメルト材14を溶解することによって、ヤトイ15から、研磨を終えた試料12を取り出す(e)。

請求項（抜粋）：

貫通穴を有する板状部材であるヤトイ材を基準板上に配置するとともに、少なくとも1つの平坦面を有する試料をその平坦面が前記基準板と接するように前記貫通穴内に配置する配置工程と、この配置工程によって前記基準板上に配置された前記ヤトイ材の貫通穴と前記試料間の空隙に溶融したホットメルト材を充填した後、溶融したホットメルト材を固化させることによって前記ヤトイ材と前記試料とを一体化する一体化工程と、前記試料と一体化したヤトイの、前記基準板と接していた面またはこれと対向する面を研磨する研磨工程と、この研磨工程による研磨を終えたヤトイから、前記試料を取り出す試料分離工程とを備えることを特徴とする試料研磨方法。

引用特許：

審査官引用 (14件)

真空チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-090671 出願人：新日本製鐵株式会社
特開昭62-228362
特開平4-193447

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