特許

J-GLOBAL ID：200903066309204650

真空チャック

発明者： 安永 暢男 ,  阿部 耕三
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 矢葺 知之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-090671
公開番号（公開出願番号）：特開平5-285764
出願日： 1992年04月10日
公開日（公表日）： 1993年11月02日
要約：

【要約】【目的】 吸引によるワークの変形を防ぎ、清浄なチャック面を維持することできる真空チャックを提供する。【構成】 真空チャックのセラミックス製チャックベース1の表面2上に1層で配列され、チャックベース表面2に直接接合された多数のセラミックス製球体11によりチャック面が形成されている。隣り合う球体11の間隙が、吸気孔6となる。チャックベース1と球体11との接合は、両者の間に接合層のない直接接合となっているので、高い剛性のチャック面を得ることができる。

請求項（抜粋）：

真空チャックのセラミックス製チャックベース表面上に1層で配列され、チャックベース表面に直接接合された多数のセラミックス製球体によりチャック面が形成されていることを特徴とする真空チャック。