特許
J-GLOBAL ID:200903020653755070

ビームスプリッタ

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-382348
公開番号(公開出願番号):特開2005-148207
出願日: 2003年11月12日
公開日(公表日): 2005年06月09日
要約:
【課題】ビームスプリッタにおいて、入射光を透過或いは反射させるミラー膜をAu等の金属膜で形成すると波長依存性及び偏光依存性が大きくなってしまう問題がある。【解決手段】ビームスプリッタの対角面11を基準としてその両側に対称となるように、入射光を反射させる成膜領域5と入射光を透過させる非成膜領域6を備えた第1のミラー膜1、及び前記第1のミラー膜1の反射光を反射させる第2のミラー膜2を配置し、前記第1のミラー膜1は光の入射角が22.5°となるように配置する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
対角面を基準としてその両側に対称となるように第1のミラー膜及び第2のミラー膜を配置した断面がほぼ正方形のビームスプリッタにおいて、前記第1のミラー膜は成膜領域と非成膜領域とを備え、前記成膜領域は入射光を反射させ、前記非成膜領域は入射光を透過させる機能を有し、前記第2のミラー膜は前記第1のミラー膜からの反射光を反射させる機能を有していることを特徴としたビームスプリッタ。
IPC (3件):
G02B5/04 ,  G02B5/08 ,  G11B7/135
FI (4件):
G02B5/04 B ,  G02B5/04 D ,  G02B5/08 D ,  G11B7/135 A
Fターム (6件):
2H042CA10 ,  2H042CA14 ,  2H042CA17 ,  5D789AA40 ,  5D789AA43 ,  5D789JA12
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 光ビームスプリッタ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-010604   出願人:富士電気化学株式会社
審査官引用 (2件)

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