特許

J-GLOBAL ID：200903020655184097

検査装置用ホルダー

発明者： 吉田 浩和
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-395057
公開番号（公開出願番号）：特開2005-156924
出願日： 2003年11月26日
公開日（公表日）： 2005年06月16日
要約：

【課題】汎用のハンドリング冶具を使用して、ガラス基板、マスクブランクス、フォトマスク等の被検査体を載置でき、かつ載置した状態で被検査体の周辺部まで透過光検査ができる検査装置用ホルダーを提供することを目的とする。【解決手段】検査装置用ホルダー100は、平面状の支持基材11上の所定位置に支持部材21と位置決め部材31とからなる固定部材40が設けられたもので、支持基材11は、透明なガラス基板、プラスチック板等からなり、固定部材40は被検査体のX、Y方向の位置決めをし、保持するためのもので、固定部材40の位置決め部材31の上面はテーパー形状を有し、弾力性に富んだ材料からなる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光学的に検査するために被検査体を載置するためのホルダーであって、 平面状の支持基材と、前記支持基材上の所定位置に前記被検査体を位置決めし、保持する固定部材とで構成されていることを特徴とする検査装置用ホルダー。

IPC (4件)：

G03F1/14 ,  G03F1/08 ,  G03F1/16 ,  H01L21/027

FI (5件)：

G03F1/14 M ,  G03F1/08 S ,  G03F1/16 F ,  H01L21/30 503D ,  H01L21/30 502V

Fターム (3件)：

2H095BD02 ,  2H095BE12 ,  5F046CC09

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 実開平02-81517号公報
  
• 検査用マスクホルダー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-204760   出願人：凸版印刷株式会社