特許
J-GLOBAL ID：200903020664123114
酸化物単結晶の製造方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-083448
公開番号（公開出願番号）：特開2000-344595
出願日： 2000年03月24日
公開日（公表日）： 2000年12月12日
要約：
【要約】【課題】 貴金属るつぼを用いた回転引き上げ式の酸化物単結晶製造において、貴金属るつぼは変形しやすく、かつ非常に高価であるために、できる限り小型のるつぼを用いて大形で長尺の結晶を育成する技術や、るつぼの耐使用回数を増やすための育成技術の開発が工業的な面で解決すべき大きな課題の一つとされている。【解決手段】 貴金属るつぼを用いた回転引き上げ式の酸化物単結晶製造において、貴金属からなる外側るつぼ内に、るつぼ内の融液表面をさえぎり、融液底部で融液が連絡するようにした円筒状の内側るつぼを配置した二重るつぼを用い、育成中の結晶の重量を直接計測しながら単結晶を前記内側るつぼの中から引き上げ育成し、これと同時に密封容器内にガスを供給し、該密封容器内に保管した粉体原料を結晶の成長重量と同じ重量だけ前記外側るつぼと内側るつぼの間に供給管より連続的に供給し、前記二重るつぼを回転させながら結晶を育成する。
請求項（抜粋）：
貴金属るつぼを用いた回転引き上げ式の単結晶製造方法において、貴金属からなる外側るつぼ内に、るつぼ内の融液表面をさえぎり、融液底部で融液が連絡するようにした円筒状の内側るつぼを配置した二重るつぼを用い、育成中の結晶の重量を直接計測しながら単結晶を前記内側るつぼの中から引き上げ育成し、これと同時に密封容器内にガスを供給し、前記密封容器内に保管した粉体原料を結晶の成長重量と同じ重量だけ前記外側るつぼと内側るつぼとの間に供給管を通して供給し、前記二重るつぼを回転させながら結晶を育成することを特徴とする酸化物単結晶の製造方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
C30B 15/12
, C30B 29/30 A
, C30B 29/30 B
4G077AA02
, 4G077BC32
, 4G077BC37
, 4G077CF07
, 4G077EC02
, 4G077EG01
, 4G077EG29
, 4G077HA01
, 4G077HA11
, 4G077PD08
