特許

J-GLOBAL ID：200903020683991534

固体撮像装置

発明者： 小山 英嗣
出願人/特許権者： シヤープ株式会社
代理人 (1件)： 梅田 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-300668
公開番号（公開出願番号）：特開平5-134111
出願日： 1991年11月15日
公開日（公表日）： 1993年05月28日
要約：

【要約】【構成】 従来技術により、遮光膜9を形成した後、マイクロレンズ材料より大きい屈折率の透明樹脂であるポリイミド樹脂をスピンコート法により塗布した後、200〜250°Cで5〜10分間ベークし、平坦化膜10aを形成する。その後、アクリル樹脂をスピンコート法により塗布した後、パターニングを行い、150〜160°Cでメルトし、マイクロレンズ11を形成する。【効果】 マイクロレンズに対する斜め入射光の受光部への集光率の低下が従来より抑えられる。

請求項（抜粋）：

平坦化膜上にマイクロレンズを設けた固体撮像装置において、前記平坦化膜に、前記マイクロレンズより大きい屈折率を有する透明樹脂を用いたことを特徴とする固体撮像装置。

IPC (2件)：

G02B 5/20 101 ,  H01L 27/14

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 固体撮像装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-280321   出願人：オリンパス光学工業株式会社