配向膜の形成方法および露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：大垣孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-322422
公開番号（公開出願番号）：特開平10-161126
出願日： 1996年12月03日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：

【要約】【課題】偏光による露光が可能な露光装置を提供する。【解決手段】光源11と、該光源11から発せられる光を被露光物25に導く1以上の反射手段15、21とを具える露光装置において、1以上の反射手段のうちの少なくとも1つの反射手段を、第1の偏光を主として反射する反射型の回折格子で構成する。

請求項（抜粋）：

偏光を照射するとその部分が液晶に対する配向膜としての機能を示すようになる材料に、前記偏光を照射して、配向膜を形成する方法において、第1の偏光を主として反射する反射型の回折格子に光源からの光を照射して該回折格子による反射光を生じさせ、該反射光を前記材料に照射することを特徴とする配向膜の形成方法。

IPC (3件)：

G02F 1/1337 , G03F 7/20 502 , H01L 21/027

FI (3件)：

G02F 1/1337 , G03F 7/20 502 , H01L 21/30 515 D

引用特許：

審査官引用 (2件)

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