特許
J-GLOBAL ID：200903020747387318
シート状基板の搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-109214
公開番号（公開出願番号）：特開2003-303873
出願日： 2002年04月11日
公開日（公表日）： 2003年10月24日
要約：
【要約】【課題】 平板ステージからシート状基板を取り出す際のシート状基板の破損を低減でき、かつ、シート状基板の取り出しスピードを上げることができるシート状基板の搬送装置を提供すること。【解決手段】 このシート状基板の搬送装置は、シリコンウエハ3が載置された時、シリコンウエハ3の縁部に隙間25が生じるようにシリコンウエハ3と平板ステージ1との間に板状スペーサ22を設けている。吸着パッド4を用いて平板ステージ1からシリコンウエハ3を取り出す時、板状スペーサ22とシリコンウエハ3の接触部に隙間25から気体が流入する。したがって、上記気体の流入によって、板状スペーサ22とシリコンウエハ3の間に発生し、シリコンウエハ3の破損の原因となる負圧部の負圧を小さくすることができるので、このシート状基板の搬送装置の搬送スピードを上げることができる。
請求項（抜粋）：
平板ステージ上のシート状基板を吸着手段で吸着して搬送するシート状基板の搬送装置において、上記平板ステージ上に設けられると共に、上記シート状基板が載置されて、この載置されたシート状基板の縁部と上記平板ステージとの間に隙間を形成するスペーサを備えたことを特徴とするシート状基板の搬送装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 B
, B65G 49/07 G
5F031CA02
, 5F031CA20
, 5F031EA10
, 5F031GA25
, 5F031GA26
, 5F031HA02
, 5F031JA04
, 5F031JA05
, 5F031JA22
, 5F031JA31
, 5F031MA30
, 5F031PA20
, 5F031PA26
