特許
J-GLOBAL ID：200903090654402137
半導体ウエハ用の吸着防止シート
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-061883
公開番号（公開出願番号）：特開平9-232416
出願日： 1996年02月23日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：
【要約】【課題】 半導体ウエハ用の剥離性の良い吸着防止シートを提供する。【解決手段】 半導体ウエハ10を筒型容器内11に積み重ねて収容する場合に、半導体ウエハ10に敷かれる緩衝用の導電性軽薄シート1である。シート1は外縁に複数の凸部1Aを放射状に形成している。シート1をウエハ10に敷くと、シート1とウエハ10は点接触となり、シート1とウエハ10間の空気層が介在するので、ウエハ10を持ち上げると、シート1は自重で剥離する。
請求項（抜粋）：
半導体ウエハを筒型容器内に積み重ねて収容する場合に、前記半導体ウエハに敷かれる緩衝用の導電性軽薄シートであって、前記半導体ウエハに空気層を介して接触し、前記導電性軽薄シートを介して前記積み重ねた半導体ウエハが傾いて接触しない面積をもち、前記半導体ウエハを持ち上げたとき、自重で剥離する重量をもつことを特徴とする半導体ウエハ用の吸着防止シート。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 V
, B65G 49/07 F
