特許
J-GLOBAL ID：200903020772254748
硬質基板の加工面温度等の測定方法およびその測定装置並びにその測定用硬質基板
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
衞藤 彰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-317007
公開番号（公開出願番号）：特開平11-153496
出願日： 1997年11月18日
公開日（公表日）： 1999年06月08日
要約：
【要約】【課題】 加工中の硬質基板の加工面の状態を直接測定することを目的とするものであり、しかも硬質基板の各部位ごとにその測定をすることができる硬質基板の加工面温度等の測定方法およびその測定装置並びにその測定用硬質基板を提供する。【解決手段】 通常研磨されるウェハと同形状の測定用ウェハ1の各所に裏側から複数の熱センサー11を埋め込む。熱センサー11に接続した配線12を裏側にフォトリソグラフィーにより印刷する。配線12を測定用ウェハ1の端部で集合させ、記録装置2にリード線13により接続する。通常研磨と同じ条件で研磨して、研磨面の温度を測定する。
請求項（抜粋）：
硬質基板の加工面の状態を感知するセンサーと、該センサーからの情報を記録する記録手段とが該硬質基板の一部分に形成されていることを特徴とする硬質基板の加工面温度等の測定用硬質基板。
IPC (5件)：
G01K 7/02
, B23Q 17/00
, B24B 37/00
, H01L 21/304 321
, H01L 21/66
G01K 7/02 Z
, B23Q 17/00 A
, B24B 37/00 J
, H01L 21/304 321 Z
, H01L 21/66
, H01L 21/66 T
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (2件)
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